ایل پی ای ری ایکٹر فیکٹری کے لیے 8 انچ ہاف مون پارٹ

ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت سیاروں کی گردش ڈسک بنانے والا

LPE PE2061S سپلائر کے لیے SiC کوٹڈ بیرل سسپٹر

ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ

VeTek سیمی کنڈکٹر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے لیے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ میٹریل کا ایک سرکردہ صنعت کار ہے۔ ہماری اہم مصنوعات کی پیشکشوں میں سی وی ڈی ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ پارٹس، ایس آئی سی کرسٹل گروتھ یا سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی عمل کے لیے سنٹرڈ TaC کوٹنگ پارٹس شامل ہیں۔ ISO9001 پاس کیا، VeTek سیمی کنڈکٹر کوالٹی پر اچھا کنٹرول ہے۔ VeTek Semiconductor مسلسل تحقیق اور تکراری ٹیکنالوجیز کی ترقی کے ذریعے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ انڈسٹری میں اختراعی بننے کے لیے وقف ہے۔

اہم مصنوعات ہیں ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ڈیفیکٹر رِنگ، ٹی اے سی کوٹڈ ڈائیورژن رنگ، ٹی اے سی کوٹڈ ہاف مون پارٹس، ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹیڈ پلینٹری روٹیشن ڈسک (ایکسٹرون جی 10)، ٹی اے سی کوٹڈ کروسیبل؛ ٹی اے سی لیپت حلقے؛ ٹی اے سی لیپت غیر محفوظ گریفائٹ؛ ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ سسپٹر؛ ٹی اے سی لیپت گائیڈ رنگ؛ ٹی اے سی ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت پلیٹ؛ TaC لیپت Wafer Susceptor؛ ٹی اے سی کوٹنگ رنگ؛ ٹی اے سی کوٹنگ گریفائٹ کور؛ ٹی اے سی کوٹڈ چنک وغیرہ، طہارت 5 پی پی ایم سے کم ہے، کسٹمر کی ضروریات کو پورا کر سکتی ہے۔

ٹی اے سی کوٹنگ گریفائٹ ایک اعلیٰ پاکیزہ گریفائٹ سبسٹریٹ کی سطح کو ٹینٹلم کاربائیڈ کی باریک تہہ کے ساتھ ایک ملکیتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) کے عمل کے ذریعے کوٹنگ کر کے بنایا گیا ہے۔ فائدہ نیچے کی تصویر میں دکھایا گیا ہے:

ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ نے 3880°C تک اپنے اعلیٰ پگھلنے کے نقطہ، بہترین مکینیکل طاقت، سختی، اور تھرمل جھٹکوں کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے توجہ حاصل کی ہے، جس سے یہ اعلی درجہ حرارت کی ضروریات کے ساتھ کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی عمل کا ایک پرکشش متبادل بنا ہوا ہے۔ جیسے Aixtron MOCVD سسٹم اور LPE SiC epitaxy process. PVT طریقہ SiC کرسٹل گروتھ پروسیس میں بھی اس کا وسیع اطلاق ہے۔

VeTek سیمی کنڈکٹر ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ کا پیرامیٹر:

ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات
کثافت	14.3 (g/cm³)
مخصوص اخراج	0.3
تھرمل توسیع گتانک	6.3 10-6/K
سختی (HK)	2000 HK
مزاحمت	1×10-5 اوہم*سینٹی میٹر
تھرمل استحکام	<2500℃
گریفائٹ سائز میں تبدیلی	-10~-20um
کوٹنگ کی موٹائی	≥20um عام قدر (35um±10um)

TaC کوٹنگ EDX ڈیٹا

ٹی اے سی کوٹنگ کرسٹل ڈھانچہ ڈیٹا

عنصر	جوہری فیصد
	Pt 1	Pt 2	Pt 3	اوسط
سی کے	52.10	57.41	52.37	53.96
ٹی ایم	47.90	42.59	47.63	46.04

ٹی اے سی کوٹنگ چک ٹی اے سی کوٹنگ پلانیٹری ڈسک ٹی اے سی لیپت پلیٹ ٹی اے سی کوٹنگ گردش پلیٹ ٹی اے سی کوٹنگ سسیپٹر CVD TaC کوٹنگ کور CVD TaC کوٹنگ رنگ ٹی اے سی کوٹنگ پلیٹ

سلیکن کاربائیڈ کوٹنگ

VeTek سیمی کنڈکٹر الٹرا پیور سلکان کاربائیڈ کوٹنگ مصنوعات کی تیاری میں مہارت رکھتا ہے، ان کوٹنگز کو پیوریفائیڈ گریفائٹ، سیرامکس، اور ریفریکٹری دھاتی اجزاء پر لاگو کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔

ہماری اعلیٰ طہارت کی کوٹنگز بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر اور الیکٹرانکس کی صنعتوں میں استعمال کے لیے ہدف ہیں۔ یہ ویفر کیریئرز، سسپٹرز، اور حرارتی عناصر کے لیے حفاظتی پرت کے طور پر کام کرتے ہیں، انہیں MOCVD اور EPI جیسے عمل میں آنے والے سنکنرن اور رد عمل والے ماحول سے بچاتے ہیں۔ یہ عمل ویفر پروسیسنگ اور ڈیوائس مینوفیکچرنگ کے لیے لازمی ہیں۔ مزید برآں، ہماری کوٹنگز ویکیوم فرنس اور نمونہ حرارتی نظام میں ایپلی کیشنز کے لیے اچھی طرح سے موزوں ہیں، جہاں ہائی ویکیوم، ری ایکٹیو، اور آکسیجن ماحول کا سامنا ہوتا ہے۔

VeTek Semiconductor میں، ہم اپنی جدید مشین شاپ کی صلاحیتوں کے ساتھ ایک جامع حل پیش کرتے ہیں۔ یہ ہمیں گریفائٹ، سیرامکس، یا ریفریکٹری دھاتوں کا استعمال کرتے ہوئے بنیادی اجزاء تیار کرنے اور گھر میں SiC یا TaC سیرامک کوٹنگز لگانے کے قابل بناتا ہے۔ ہم گاہک کے فراہم کردہ حصوں کے لیے کوٹنگ کی خدمات بھی فراہم کرتے ہیں، متنوع ضروریات کو پورا کرنے کے لیے لچک کو یقینی بناتے ہوئے

ہمارے سلیکون کاربائیڈ کوٹنگ پروڈکٹس بڑے پیمانے پر Si epitaxy، SiC epitaxy، MOCVD سسٹم، RTP/RTA عمل، ایچنگ کے عمل، ICP/PSS ایچنگ کے عمل، مختلف ایل ای ڈی اقسام کے عمل میں استعمال ہوتے ہیں، بشمول نیلے اور سبز ایل ای ڈی، یووی ایل ای ڈی اور ڈیپ-یووی LED وغیرہ، جو LPE، Aixtron، Veeco، Nuflare، TEL، ASM، Annealsys، TSI اور اسی طرح کے آلات کے مطابق ڈھال لیا گیا ہے۔

ری ایکٹر کے پرزے جو ہم کر سکتے ہیں:

سلکان کاربائیڈ کوٹنگ کے کئی منفرد فوائد:

VeTek سیمی کنڈکٹر سلکان کاربائیڈ کوٹنگ پیرامیٹر:

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات
جائیداد	عام قدر
کرسٹل کا ڈھانچہ	ایف سی سی β فیز پولی کرسٹل لائن، بنیادی طور پر (111) پر مبنی
کثافت	3.21 گرام/cm³
سختی	2500 وکرز سختی (500 گرام لوڈ)
اناج کا سائز	2~10μm
کیمیائی طہارت	99.99995%
حرارت کی صلاحیت	640 J·kg-1·K-1
Sublimation درجہ حرارت	2700℃
لچکدار طاقت	415 MPa RT 4 پوائنٹ
نوجوان کا ماڈیولس	430 Gpa 4pt موڑ، 1300℃
حرارت کی ایصالیت	300W·m-1·K-1
تھرمل توسیع (CTE)	4.5×10-6K-1

نمایاں مصنوعات

ہمارے بارے میں

VeTek سیمی کنڈکٹر ٹیکنالوجی کمپنی، LTD، جو 2016 میں قائم ہوئی، سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے لیے اعلی درجے کی کوٹنگ مواد فراہم کرنے والا ایک سرکردہ ادارہ ہے۔ ہمارے بانی، چائنیز اکیڈمی آف سائنسز کے انسٹی ٹیوٹ آف میٹریلز کے سابق ماہر نے صنعت کے لیے جدید حل تیار کرنے پر توجہ مرکوز کرتے ہوئے کمپنی قائم کی۔

ہماری اہم مصنوعات کی پیشکش شامل ہیںCVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگز, ٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی) کوٹنگز, بڑی تعداد میں SiC، SiC پاؤڈرز، اور اعلیٰ پاکیزہ SiC مواد. اہم مصنوعات ہیں SiC کوٹیڈ گریفائٹ سسیپٹر، پری ہیٹ رِنگز، TaC کوٹڈ ڈائیورژن رِنگ، ہاف مون پارٹس وغیرہ، طہارت 5ppm سے کم ہے، کسٹمر کی ضروریات کو پورا کر سکتی ہے۔

مزید پڑھ