Aixtron G5 MOCVD Susceptors

VeTek Semiconductor چین میں ایک سرکردہ Aixtron G5 MOCVD Susceptors تیار کرنے والا اور اختراعی ہے۔ ہم نے کئی سالوں سے SiC کوٹنگ میٹریل میں مہارت حاصل کی ہے۔ ہم Aixtron G5 MOCVD Susceptors پیش کرتے ہیں جو خاص طور پر Aixtron G5 MOCVD ری ایکٹر کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔ یہ Aixtron G5 MOCVD Susceptors کٹ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لیے اس کے بہترین سائز، مطابقت اور اعلیٰ پیداواری صلاحیت کے ساتھ ایک ورسٹائل اور موثر حل ہے۔ ہم سے پوچھنے میں خوش آمدید۔

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

پروفیشنل مینوفیکچرر کے طور پر، VeTek سیمی کنڈکٹر آپ کو Aixtron G5 MOCVD Susceptors جیسے SiC کوٹڈ گریفائٹ پارٹس، TaC کوٹڈ گریفائٹ پارٹس، ٹھوس SiC/CVD SiC، کوارٹز پارٹس فراہم کرنا چاہتا ہے۔ ہم سے پوچھ گچھ میں خوش آمدید۔

Aixtron G5 کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹرز کے لیے جمع کرنے کا نظام ہے۔ AIX G5 MOCVD مکمل طور پر خودکار کارٹریج (C2C) ویفر ٹرانسفر سسٹم کے ساتھ پروڈکشن کسٹمر ثابت AIXTRON سیارے کے ری ایکٹر پلیٹ فارم کا استعمال کرتا ہے۔ صنعت کی سب سے بڑی سنگل کیویٹی سائز (8 x 6 انچ) اور سب سے بڑی پیداواری صلاحیت حاصل کی۔ یہ لچکدار 6 - اور 4 انچ کنفیگریشنز پیش کرتا ہے جو بہترین مصنوعات کے معیار کو برقرار رکھتے ہوئے پیداواری لاگت کو کم کرنے کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ گرم دیوار کے سیاروں کا CVD نظام ایک ہی بھٹی میں متعدد پلیٹوں کی نشوونما سے نمایاں ہے، اور آؤٹ پٹ کی کارکردگی زیادہ ہے۔ VeTek Semiconductor Aixtron G5 MOCVD سسٹم کے لیے لوازمات کا ایک مکمل سیٹ پیش کرتا ہے، Aixtron G5 MOCVD Susceptors ان لوازمات پر مشتمل ہے:

تھرسٹ پیس، اینٹی روٹیٹ	تقسیم کی انگوٹی	چھت	ہولڈر، چھت، موصل	کور پلیٹ، بیرونی
کور پلیٹ، اندرونی	کور کی انگوٹھی	ڈسک	پل ڈاؤن کور ڈسک	پن
پن واشر	پلانیٹری ڈسک	کلیکٹر انلیٹ رنگ گیپ	ایگزاسٹ کلیکٹر اپر	شٹر
سپورٹنگ انگوٹی	سپورٹ ٹیوب

Aixtron G5,EPI susceptor,MOCVD susceptor

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات:

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات
جائیداد	عام قدر
کرسٹل کا ڈھانچہ	ایف سی سی β فیز پولی کرسٹل لائن، بنیادی طور پر (111) پر مبنی
کثافت	3.21 گرام/cm³
سختی	2500 وکرز سختی (500 گرام لوڈ)
اناج کا سائز	2~10μm
کیمیائی طہارت	99.99995%
حرارت کی صلاحیت	640 J·kg-1·K-1
Sublimation درجہ حرارت	2700℃
لچکدار طاقت	415 MPa RT 4 پوائنٹ
نوجوان کا ماڈیولس	430 Gpa 4pt موڑ، 1300℃
حرارت کی ایصالیت	300W·m-1·K-1
تھرمل توسیع (CTE)	4.5×10-6K-1