چین ٹھوس سلیکن کاربائیڈ مینوفیکچرر، سپلائر، فیکٹری

VeTek سیمی کنڈکٹر سالڈ سلکان کاربائیڈ پلازما اینچنگ کے سامان میں ایک اہم سیرامک جزو ہے، ٹھوس سلکان کاربائیڈ(سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ) اینچنگ کے سامان میں حصے شامل ہیں۔توجہ مرکوز کرنے والے حلقے، گیس شاور ہیڈ، ٹرے، کنارے کے حلقے وغیرہ۔ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) کی کلورین اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے، یہ پلازما اینچنگ کے آلات کے لیے ایک مثالی مواد ہے جو انگوٹھیوں پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ اجزاء

مثال کے طور پر، فوکس رِنگ ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر رکھا جاتا ہے اور ویفر کے ساتھ براہِ راست رابطے میں، انگوٹی میں وولٹیج لگا کر انگوٹھی سے گزرنے والے پلازما کو فوکس کرتا ہے، اس طرح پلازما کو ویفر پر فوکس کرتا ہے تاکہ یکسانیت کو بہتر بنایا جا سکے۔ پروسیسنگ روایتی توجہ کی انگوٹی سلکان یا سے بنی ہے۔کوارٹج، conductive سلکان ایک عام توجہ کی انگوٹی مواد کے طور پر، یہ تقریبا سلکان wafers کی چالکتا کے قریب ہے، لیکن کمی فلورین پر مشتمل پلازما میں غریب اینچنگ مزاحمت ہے، اینچنگ مشین حصوں کے مواد کو اکثر وقت کی مدت کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، وہاں سنگین ہو جائے گا. سنکنرن رجحان، سنجیدگی سے اس کی پیداوار کی کارکردگی کو کم کرنے.

Solid SiC فوکس رنگکام کرنے کا اصول：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ:

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم	اور	CVD SiC
کثافت (g/cm³)	2.33	3.21
بینڈ گیپ (eV)	1.12	2.3
تھرمل چالکتا (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
لچکدار ماڈیولس (GPa)	150	440
سختی (GPa)	11.4	24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت	غریب	بہترین

VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر کے آلات کے لیے SIC فوکسنگ رِنگز جیسے ایڈوانسڈ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) پارٹس پیش کرتا ہے۔ ہمارے ٹھوس سلکان کاربائیڈ فوکسنگ رِنگز روایتی سلیکون کو مکینیکل طاقت، کیمیائی مزاحمت، تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت کی پائیداری، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔

ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز کی اہم خصوصیات میں شامل ہیں۔:

اینچنگ کی کم شرحوں کے لیے اعلی کثافت۔

اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ بہترین موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی، لباس مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت.

کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا گیا ہے۔پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیک، ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایچنگ کے عمل کی بڑھتی ہوئی مانگ کو پورا کرتے ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں، خاص طور پرcapacitively کپلڈ پلازما (CCP)نظام

VeTek Semiconductor کے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور قابل اعتمادی فراہم کرتے ہیں۔ اعلیٰ معیار اور کارکردگی کے لیے ہمارے SiC اجزاء کا انتخاب کریں۔

View as

سلیکن کاربائیڈ شاور ہیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر چین میں سلیکون کاربائیڈ شاور ہیڈ مصنوعات کا ایک معروف صنعت کار اور سپلائر ہے۔ SiC شاور ہیڈ میں بہترین اعلی درجہ حرارت برداشت، کیمیائی استحکام، تھرمل چالکتا اور گیس کی تقسیم کی اچھی کارکردگی ہے، جو یکساں گیس کی تقسیم اور فلم کے معیار کو بہتر بنا سکتی ہے۔ لہذا، یہ عام طور پر اعلی درجہ حرارت کے عمل میں استعمال ہوتا ہے جیسے کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) یا جسمانی بخارات جمع کرنے (PVD) کے عمل۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

سلیکن کاربائیڈ سیل رنگ

چین میں ایک پیشہ ور سلکان کاربائیڈ سیل رنگ پروڈکٹ بنانے والے اور فیکٹری کے طور پر، VeTek Semiconductor Silicon Carbide Seal Ring اپنی بہترین گرمی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت، مکینیکل طاقت اور تھرمل چالکتا کی وجہ سے سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ آلات میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ یہ خاص طور پر اعلی درجہ حرارت اور رد عمل والی گیسوں جیسے CVD، PVD اور پلازما ایچنگ کے عمل کے لیے موزوں ہے، اور یہ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ایک اہم مادی انتخاب ہے۔ آپ کی مزید پوچھ گچھ کا خیرمقدم ہے۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

SiC کرسٹل گروتھ کے لیے CVD SiC بلاک

VeTek Semiconductor CVD-SiC بلک ذرائع، CVD SiC کوٹنگز، اور CVD TaC کوٹنگز کی تحقیق اور ترقی اور صنعت کاری پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ مثال کے طور پر SiC کرسٹل گروتھ کے لیے CVD SiC بلاک کو لے کر، پروڈکٹ پروسیسنگ ٹیکنالوجی جدید ہے، شرح نمو تیز ہے، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت مضبوط ہے۔ استفسار کرنے میں خوش آمدید۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

SiC کرسٹل گروتھ نئی ٹیکنالوجی

ویٹیک سیمی کنڈکٹر کی الٹرا ہائی پیوریٹی سلکان کاربائیڈ (SiC) جو کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) سے بنتی ہے، جسمانی بخارات کی نقل و حمل (PVT) کے ذریعے سلکان کاربائیڈ کرسٹل کو اگانے کے لیے ماخذ مواد کے طور پر استعمال کیا جا سکتا ہے۔ SiC کرسٹل گروتھ نیو ٹکنالوجی میں، ماخذ مواد کو ایک کروسیبل میں لادا جاتا ہے اور سیڈ کرسٹل پر سبلیمیٹ کیا جاتا ہے۔ ضائع شدہ CVD-SiC بلاکس کو بڑھتے ہوئے SiC کرسٹل کے ذریعہ مواد کو ری سائیکل کرنے کے لیے استعمال کریں۔ ہمارے ساتھ شراکت قائم کرنے میں خوش آمدید۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

CVD SiC شاور ہیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر چین میں ایک معروف CVD SiC شاور ہیڈ بنانے والا اور اختراع کار ہے۔ ہم کئی سالوں سے SiC میٹریل میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ CVD SiC شاور ہیڈ کو اس کے بہترین تھرمو کیمیکل استحکام، اعلی مکینیکل طاقت اور مزاحمت کی وجہ سے توجہ مرکوز کرنے والے رنگ کے مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ پلازما کٹاؤ۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

سی سی شاور ہیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر چین میں ایک سرکردہ SiC شاور ہیڈ بنانے والا اور اختراع کنندہ ہے۔ ہم کئی سالوں سے SiC میٹریل میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ SiC شاور ہیڈ کو بہترین تھرمو کیمیکل استحکام، اعلی مکینیکل طاقت اور پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے توجہ مرکوز کرنے والے رنگ کے مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ .ہم چین میں آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

<1 2 >

چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائیڈ مینوفیکچرر اور سپلائر کے طور پر، ہماری اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے علاقے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لیے حسب ضرورت خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں تیار کردہ جدید اور پائیدار ٹھوس سلیکن کاربائیڈ خریدنا ہو، آپ ہمیں ایک پیغام دے سکتے ہیں۔