ٹھوس سی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ

VeTek Semiconductor چین میں ایک سرکردہ سالڈ SiC Etching Focusing Ring بنانے والا اور اختراع کار ہے۔ ہم کئی سالوں سے SiC میٹریل میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ سالڈ SiC کو بہترین تھرمو کیمیکل استحکام، اعلی مکینیکل طاقت اور پلازما کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے فوکس کرنے والے رنگ کے مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

آپ ہماری فیکٹری سے سالڈ سی سی ایچنگ فوکسنگ رنگ خریدنے کے لیے یقین دہانی کر سکتے ہیں۔ VeTek سیمی کنڈکٹر کی انقلابی ٹکنالوجی سالڈ SiC Etching Focusing Ring کی تیاری کے قابل بناتی ہے، جو کہ ایک انتہائی اعلیٰ پیوریٹی سلکان کاربائیڈ مواد ہے جو کیمیائی بخارات جمع کرنے کے عمل کے ذریعے تخلیق کیا گیا ہے۔

سالڈ سی سی ایچنگ فوکسنگ رِنگ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں استعمال ہوتی ہے، خاص طور پر پلازما ایچنگ سسٹم میں۔ ٹھوس SiC ایچنگ فوکسنگ رِنگ ایک اہم جز ہے جو سلیکون کاربائیڈ (SiC) ویفرز کی درست اور کنٹرول شدہ اینچنگ حاصل کرنے میں مدد کرتا ہے۔

پلازما اینچنگ کے عمل کے دوران، فوکس کرنے والی انگوٹھی متعدد کردار ادا کرتی ہے:

1. پلازما پر فوکس کرنا: ٹھوس SiC اینچنگ فوکس کرنے والی انگوٹی ویفر کے ارد گرد پلازما کو شکل دینے اور مرکوز کرنے میں مدد کرتی ہے، اس بات کو یقینی بناتی ہے کہ اینچنگ کا عمل یکساں اور مؤثر طریقے سے ہو۔ یہ پلازما کو مطلوبہ جگہ تک محدود رکھنے میں مدد کرتا ہے، آوارہ نقاشی یا آس پاس کے علاقوں کو پہنچنے والے نقصان کو روکتا ہے۔

2. چیمبر کی دیواروں کی حفاظت: فوکس کرنے والی انگوٹھی پلازما اور چیمبر کی دیواروں کے درمیان رکاوٹ کا کام کرتی ہے، براہ راست رابطے اور ممکنہ نقصان کو روکتی ہے۔ SiC پلازما کے کٹاؤ کے خلاف انتہائی مزاحم ہے اور چیمبر کی دیواروں کے لیے بہترین تحفظ فراہم کرتا ہے۔

3۔درجہ حرارت کنٹرول: فوکس کرنے والی انگوٹھی اینچنگ کے عمل کے دوران پورے ویفر میں درجہ حرارت کی یکساں تقسیم کو برقرار رکھنے میں معاون ہے۔ یہ گرمی کو ختم کرنے میں مدد کرتا ہے اور مقامی حد سے زیادہ گرمی یا تھرمل گریڈینٹ کو روکتا ہے جو اینچنگ کے نتائج کو متاثر کر سکتے ہیں۔

ٹھوس SiC کا انتخاب اس کے شاندار تھرمل اور کیمیائی استحکام، اعلی مکینیکل طاقت، اور پلازما کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے توجہ مرکوز کرنے کے لیے کیا جاتا ہے۔ یہ خصوصیات SiC کو پلازما اینچنگ سسٹم کے اندر سخت اور سخت حالات کے لیے موزوں مواد بناتی ہیں۔

یہ بات قابل توجہ ہے کہ مخصوص پلازما اینچنگ سسٹم اور عمل کی ضروریات کے لحاظ سے فوکسنگ رِنگز کے ڈیزائن اور وضاحتیں مختلف ہو سکتی ہیں۔ VeTek سیمی کنڈکٹر بہترین اینچنگ کی کارکردگی اور لمبی عمر کو یقینی بنانے کے لیے فوکسنگ رِنگز کی شکل، طول و عرض اور سطح کی خصوصیات کو بہتر بناتا ہے۔ سالڈ SiC وسیع پیمانے پر ویفر کیریئرز، سسپٹرز، ڈمی ویفر، گائیڈ رِنگز، اینچنگ کے پرزے، CVD عمل وغیرہ کے لیے استعمال ہوتا ہے۔

ٹھوس SiC اینچنگ فوکسنگ رنگ کا پروڈکٹ پیرامیٹر

ٹھوس سی سی کی جسمانی خصوصیات
کثافت	3.21	g/cm3
بجلی کی مزاحمت	102	Ω/سینٹی میٹر
لچکدار طاقت	590	ایم پی اے	(6000kgf/cm2)
ینگ کا ماڈیولس	450	جی پی اے	(6000kgf/mm2)
Vickers سختی	26	جی پی اے	(2650kgf/mm2)
C.T.E.(RT-1000℃)	4.0	x10-6/K
تھرمل چالکتا (RT)	250	W/mK