VeTek سیمی کنڈکٹر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے لیے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ میٹریل کا ایک سرکردہ صنعت کار ہے۔ ہماری اہم مصنوعات کی پیشکشوں میں سی وی ڈی ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ پارٹس، ایس آئی سی کرسٹل گروتھ یا سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی عمل کے لیے سنٹرڈ TaC کوٹنگ پارٹس شامل ہیں۔ ISO9001 پاس کیا، VeTek سیمی کنڈکٹر کوالٹی پر اچھا کنٹرول ہے۔ VeTek Semiconductor مسلسل تحقیق اور تکراری ٹیکنالوجیز کی ترقی کے ذریعے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ انڈسٹری میں اختراعی بننے کے لیے وقف ہے۔
اہم مصنوعات ہیںٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ڈیفیکٹر رِنگ، ٹی اے سی لیپت ڈائیورژن رنگ، ٹی اے سی لیپت ہاف مون پارٹس، ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت پلینٹری روٹیشن ڈسک (ایکسٹرون جی 10)، ٹی اے سی کوٹڈ کروسیبل؛ ٹی اے سی لیپت حلقے؛ ٹی اے سی لیپت غیر محفوظ گریفائٹ؛ ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ سسپٹر؛ ٹی اے سی لیپت گائیڈ رنگ؛ ٹی اے سی ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت پلیٹ؛ TaC لیپت Wafer Susceptor؛ ٹی اے سی کوٹنگ رنگ؛ ٹی اے سی کوٹنگ گریفائٹ کور؛ ٹی اے سی لیپت ٹکڑاوغیرہ، طہارت 5ppm سے کم ہے، کسٹمر کی ضروریات کو پورا کر سکتی ہے۔
ٹی اے سی کوٹنگ گریفائٹ ایک اعلیٰ پاکیزہ گریفائٹ سبسٹریٹ کی سطح کو ٹینٹلم کاربائیڈ کی باریک تہہ کے ساتھ ایک ملکیتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) کے عمل کے ذریعے کوٹنگ کر کے بنایا گیا ہے۔ فائدہ نیچے کی تصویر میں دکھایا گیا ہے:
ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ نے 3880°C تک اپنے اعلیٰ پگھلنے کے نقطہ، بہترین مکینیکل طاقت، سختی، اور تھرمل جھٹکوں کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے توجہ حاصل کی ہے، جس سے یہ زیادہ درجہ حرارت کی ضروریات کے ساتھ کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی عمل کا ایک پرکشش متبادل بنا ہوا ہے۔ جیسے Aixtron MOCVD سسٹم اور LPE SiC epitaxy process. PVT طریقہ SiC کرسٹل گروتھ پروسیس میں بھی اس کا وسیع اطلاق ہے۔
درجہ حرارت کا استحکام
انتہائی اعلی طہارت
H2، NH3، SiH4، Si کے خلاف مزاحمت
تھرمل اسٹاک کے خلاف مزاحمت
گریفائٹ سے مضبوط آسنجن
رسمی کوٹنگ کی کوریج
سائز 750 ملی میٹر قطر تک (چین میں واحد صنعت کار اس سائز تک پہنچتا ہے)
ویفر کیریئر
آگمناتی حرارتی susceptor
مزاحم حرارتی عنصر
سیٹلائٹ ڈسک
شاور ہیڈ
گائیڈ کی انگوٹھی
ایل ای ڈی ایپی ریسیور
انجکشن نوزل
ماسکنگ انگوٹی
ہیٹ شیلڈ
ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات | |
کثافت | 14.3 (g/cm³) |
مخصوص اخراج | 0.3 |
تھرمل توسیع گتانک | 6.3 10-6/K |
سختی (HK) | 2000 HK |
مزاحمت | 1×10-5اوہم * سینٹی میٹر |
تھرمل استحکام | <2500℃ |
گریفائٹ سائز میں تبدیلی | -10~-20um |
کوٹنگ کی موٹائی | ≥20um عام قدر (35um±10um) |
عنصر | جوہری فیصد | |||
Pt 1 | Pt 2 | Pt 3 | اوسط | |
سی کے | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
ٹی ایم | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |
چین میں ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹیڈ رنگ پروڈکٹس کے ایک پیشہ ور اختراع کار اور رہنما کے طور پر، VeTek سیمی کنڈکٹر ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹیڈ رنگ اپنی بہترین اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، پہننے کی مزاحمت اور بہترین تھرمل چالکتا کے ساتھ SiC کرسٹل کی نمو میں ایک ناقابل تلافی کردار ادا کرتا ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔VeTek سیمی کنڈکٹر ایک پیشہ ور صنعت کار اور چین میں غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ مصنوعات کا رہنما ہے۔ غیر محفوظ ٹینٹلم کاربائیڈ عام طور پر کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) کے طریقہ کار سے تیار کیا جاتا ہے، جو اس کے تاکنا کے سائز اور تقسیم کے عین مطابق کنٹرول کو یقینی بناتا ہے، اور یہ ایک مادی ٹول ہے جو اعلی درجہ حرارت کے انتہائی ماحول کے لیے وقف ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔چین میں ٹینٹلم کاربائیڈ رنگ کی مصنوعات کے ایک جدید کارخانہ دار اور پروڈیوسر کے طور پر، VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Ring میں انتہائی سختی، پہننے کی مزاحمت، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور کیمیائی استحکام ہے، اور یہ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ فیلڈ میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ خاص طور پر سی وی ڈی، پی وی ڈی، آئن امپلانٹیشن کے عمل، اینچنگ کے عمل، اور ویفر پروسیسنگ اور ٹرانسپورٹیشن میں، یہ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ اور مینوفیکچرنگ کے لیے ایک ناگزیر پروڈکٹ ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کا انتظار رہے گا۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔چین میں ایک پیشہ ور ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ سپورٹ پروڈکٹ مینوفیکچرر اور فیکٹری کے طور پر، VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support عام طور پر سیمی کنڈکٹر آلات میں ساختی اجزاء یا معاون اجزاء کی سطح کوٹنگ کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں کلیدی آلات کے اجزاء کی سطح کے تحفظ کے لیے۔ سی وی ڈی اور پی وی ڈی۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔VeTek Semiconductor چین میں ٹینٹلم کاربائیڈ گائیڈ رنگ کی مصنوعات کا ایک پیشہ ور صنعت کار اور رہنما ہے۔ ہمارا ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) گائیڈ رنگ ٹینٹلم کاربائیڈ سے بنا ایک اعلیٰ کارکردگی والا رنگ کا جزو ہے، جو عام طور پر سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ آلات میں استعمال ہوتا ہے، خاص طور پر اعلی درجہ حرارت اور انتہائی سنکنرن ماحول جیسے کہ CVD، PVD، ایچنگ اور ڈفیوژن میں۔ VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے لیے جدید ٹیکنالوجی اور مصنوعات کے حل فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے، اور آپ کی مزید پوچھ گچھ کا خیرمقدم کرتا ہے۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔چین میں ٹی اے سی کوٹنگ روٹیشن سوسیپٹر مصنوعات کے ایک پیشہ ور صنعت کار، اختراع کار اور رہنما کے طور پر۔ VeTek Semiconductor TaC کوٹنگ روٹیشن سسپٹر عام طور پر کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) اور مالیکیولر بیم ایپیٹیکسی (MBE) آلات میں نصب کیا جاتا ہے تاکہ یکساں مواد کے جمع ہونے اور موثر ردعمل کو یقینی بنانے کے لیے ویفرز کو سپورٹ اور گھمایا جائے۔ یہ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں ایک اہم جزو ہے۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔
مزید پڑھانکوائری بھیجیں۔