ٹی اے سی کوٹنگ روٹیشن سسیپٹر

VeTek Semiconductor TaC کوٹنگ Rotation Susceptor سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں ویفر ہینڈلنگ کے لیے ایک کلیدی جزو ہے۔ اس کاٹی اے سی کمپنیہمارےبہترین اعلی درجہ حرارت رواداری (3880 ° C تک پگھلنے کا نقطہ)، کیمیائی استحکام اور سنکنرن مزاحمت، جو ویفر پروسیسنگ میں اعلی صحت سے متعلق اور اعلی معیار کو یقینی بناتا ہے۔

TaC کوٹنگ روٹیشن سسیپٹر (Tantalum Carbon Coating Rotation Susceptor) سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ میں استعمال ہونے والا ایک اہم سامان ہے۔ یہ عام طور پر انسٹال ہوتا ہے۔کیمیائی بخارات جمع (CVD)اور مالیکیولر بیم ایپیٹیکسی (MBE) کا سامان ویفرز کو سپورٹ کرنے اور گھمانے کے لیے یکساں مواد کے جمع ہونے اور موثر ردعمل کو یقینی بنانے کے لیے۔ اس قسم کی مصنوعات اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں سبسٹریٹ کو کوٹنگ کرکے سامان کی سروس لائف اور کارکردگی کو نمایاں طور پر بہتر بناتی ہے۔ٹینٹلم کاربن (ٹی اے سی) کوٹنگ.

ٹی اے سی کوٹنگ روٹیشن سسیپٹر عام طور پر ٹی اے سی کوٹنگ اور گریفائٹ یا سلکان کاربائیڈ پر مشتمل ہوتا ہے۔ ٹی اے سی ایک انتہائی اعلی درجہ حرارت کا سیرامک ​​مواد ہے جس میں انتہائی زیادہ پگھلنے کا نقطہ (3880 ° C تک پگھلنے کا نقطہ)، سختی (ویکرز سختی تقریبا 2000 HK ہے) اور بہترین کیمیائی سنکنرن مزاحمت ہے۔ VeTek سیمی کنڈکٹر CVD ٹیکنالوجی کے ذریعے سبسٹریٹ مواد پر ٹینٹلم کاربن کوٹنگ کو مؤثر طریقے سے اور یکساں طور پر ڈھانپ سکتا ہے۔

گردش سسپٹر عام طور پر اعلی تھرمل چالکتا اور اعلی طاقت والے مواد (گریفائٹ یاسلکان کاربائیڈ)، جو اعلی درجہ حرارت کے ماحول میں اچھی مکینیکل سپورٹ اور تھرمل استحکام فراہم کر سکتا ہے۔ دونوں کا کامل امتزاج ویفرز کو سپورٹ کرنے اور گھومنے میں TaC کوٹنگ Rotation Susceptor کی بہترین کارکردگی کا تعین کرتا ہے۔

TaC کوٹنگ روٹیشن سسیپٹر CVD عمل میں ویفر کو سپورٹ اور گھماتا ہے۔ TaC کی Vickers سختی تقریباً 2000 HK ہے، جو اسے مواد کے بار بار ہونے والے رگڑ کے خلاف مزاحمت کرنے اور ایک اچھا معاون کردار ادا کرنے کے قابل بناتی ہے، اس طرح اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ ری ایکشن گیس ویفر کی سطح پر یکساں طور پر تقسیم ہو اور مواد یکساں طور پر جمع ہو۔ ایک ہی وقت میں، TaC کوٹنگ کی اعلی درجہ حرارت کی رواداری اور سنکنرن مزاحمت اسے اعلی درجہ حرارت اور سنکنرن ماحول میں طویل عرصے تک استعمال کرنے کے قابل بناتی ہے، جو مؤثر طریقے سے ویفر اور کیریئر کی آلودگی سے بچتی ہے۔

مزید یہ کہ، TaC کی تھرمل چالکتا 21 W/m·K ہے، جس میں گرمی کی منتقلی اچھی ہے۔ لہذا، ٹی اے سی کوٹنگ روٹیشن سسیپٹر اعلی درجہ حرارت کے حالات میں ویفر کو یکساں طور پر گرم کر سکتا ہے اور گردشی حرکت کے ذریعے گیس جمع کرنے کے عمل کی یکسانیت کو یقینی بنا سکتا ہے، اس طرح اس کی مستقل مزاجی اور اعلیٰ معیار کو برقرار رکھتا ہے۔ویفر کی ترقی.

ایک خوردبین کراس سیکشن پر ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ：

ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات：

ٹی اے سی کوٹنگ روٹیشن سوسیپٹر شاپس: