چین میں ایک پیشہ ور ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ سپورٹ پروڈکٹ مینوفیکچرر اور فیکٹری کے طور پر، VeTek Semiconductor Tantalum Carbide Coating Support عام طور پر سیمی کنڈکٹر آلات میں ساختی اجزاء یا معاون اجزاء کی سطح کوٹنگ کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، خاص طور پر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں کلیدی آلات کے اجزاء کی سطح کے تحفظ کے لیے۔ سی وی ڈی اور پی وی ڈی۔ آپ کی مزید مشاورت کا خیرمقدم کرتے ہیں۔
VeTek سیمی کنڈکٹر کا بنیادی کامٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی) کوٹنگسپورٹ کو بہتر بنانا ہے۔گرمی کی مزاحمت، پہننے کی مزاحمت اور سنکنرن مزاحمتٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ کی ایک پرت کو کوٹنگ کر کے سبسٹریٹ کو، تاکہ عمل کی درستگی اور وشوسنییتا کو بہتر بنایا جا سکے اور اجزاء کی سروس لائف کو بڑھایا جا سکے۔ یہ سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے میدان میں استعمال ہونے والی ایک اعلیٰ کارکردگی والی کوٹنگ پروڈکٹ ہے۔
VeTek سیمی کنڈکٹر کے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ سپورٹ میں Mohs سختی تقریباً 9~10 ہے، جو ہیرے کے بعد دوسرے نمبر پر ہے۔ اس میں انتہائی مضبوط لباس مزاحمت ہے اور یہ پروسیسنگ کے دوران سطح کے پہننے اور اثرات کے خلاف مؤثر طریقے سے مزاحمت کر سکتا ہے، اس طرح آلات کے اجزاء کی سروس لائف کو مؤثر طریقے سے بڑھاتا ہے۔ تقریباً 3880 ڈگری سینٹی گریڈ کے اس کے اعلی پگھلنے والے نقطہ کے ساتھ مل کر، یہ اکثر سیمی کنڈکٹر آلات کے اہم اجزاء کو کوٹنگ کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، جیسے سپورٹ ڈھانچے کی سطح کی کوٹنگز، گرمی کے علاج کے آلات، سیمی کنڈکٹر کے آلات میں چیمبرز یا گاسکیٹ اس کے پہننے کی مزاحمت اور اعلی درجہ حرارت کو بڑھانے کے لیے۔ مزاحمت
تقریباً 3880 °C کے ٹینٹلم کاربائیڈ کے انتہائی اونچے پگھلنے کی وجہ سے، سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے عمل میں جیسےکیمیائی بخارات جمع (CVD)اورجسمانی بخارات جمع (PVD)، مضبوط اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور کیمیائی سنکنرن مزاحمت کے ساتھ TaC کوٹنگ مؤثر طریقے سے سازوسامان کے اجزاء کی حفاظت کر سکتی ہے اور انتہائی ماحول میں سبسٹریٹ کو سنکنرن یا نقصان کو روک سکتی ہے، ویفر مینوفیکچرنگ میں اعلی درجہ حرارت والے ماحول کے لیے موثر تحفظ فراہم کرتی ہے۔ یہ خصوصیت اس بات کا بھی تعین کرتی ہے کہ VeTek سیمی کنڈکٹر کی ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ سپورٹ اکثر اینچنگ اور سنکنرن کے عمل میں استعمال ہوتی ہے۔
ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ سپورٹ میں ذرہ آلودگی کو کم کرنے کا کام بھی ہوتا ہے۔ ویفر پروسیسنگ کے دوران، سطح کا لباس عام طور پر ذرات کی آلودگی پیدا کرتا ہے، جو ویفر کی مصنوعات کے معیار کو متاثر کرتا ہے۔ TaC کوٹنگ کی 9-10 Mohs سختی کی انتہائی مصنوعات کی خصوصیات اس لباس کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتی ہیں، اس طرح ذرات کی نسل کو کم کر سکتی ہے۔ TaC کوٹنگ کی بہترین تھرمل چالکتا (تقریبا 21 W/m·K) کے ساتھ مل کر، یہ اعلی درجہ حرارت کے حالات میں اچھی تھرمل چالکتا کو برقرار رکھ سکتا ہے، اس طرح ویفر مینوفیکچرنگ کی پیداوار اور مستقل مزاجی کو بہت بہتر بناتا ہے۔
VeTek سیمی کنڈکٹر کی اہم TaC کوٹنگ مصنوعات شامل ہیں۔ٹی اے سی کوٹنگ ہیٹر, CVD TaC کوٹنگ کروسیبل, ٹی اے سی کوٹنگ روٹیشن سسیپٹراورٹی اے سی کوٹنگ اسپیئر پارٹوغیرہ، اور اپنی مرضی کے مطابق مصنوعات کی خدمات کی حمایت کرتے ہیں۔ VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے لیے بہترین مصنوعات اور تکنیکی حل فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کی پوری امید رکھتے ہیں۔
ایک خوردبین کراس سیکشن پر ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ:
CVD TaC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات:
ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات |
|
کثافت |
14.3 (g/cm³) |
مخصوص اخراج |
0.3 |
تھرمل توسیع گتانک |
6.3*10-6/K |
سختی (HK) |
2000HK |
مزاحمت |
1×10-5اوہم * سینٹی میٹر |
تھرمل استحکام |
<2500℃ |
گریفائٹ سائز میں تبدیلی |
-10~-20um |
کوٹنگ کی موٹائی |
≥20um عام قدر (35um±10um) |