چین ٹھوس سلیکن کاربائیڈ مینوفیکچرر، سپلائر، فیکٹری

VeTek سیمی کنڈکٹر سالڈ سلکان کاربائیڈ پلازما اینچنگ کے سامان میں ایک اہم سیرامک جزو ہے، ٹھوس سلکان کاربائیڈ(سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ) اینچنگ کے سامان میں حصے شامل ہیں۔توجہ مرکوز کرنے والے حلقے، گیس شاور ہیڈ، ٹرے، کنارے کے حلقے وغیرہ۔ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) کی کلورین اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے، یہ پلازما اینچنگ کے آلات کے لیے ایک مثالی مواد ہے جو انگوٹھیوں پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ اجزاء

مثال کے طور پر، فوکس رِنگ ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر رکھا جاتا ہے اور ویفر کے ساتھ براہِ راست رابطے میں، انگوٹی میں وولٹیج لگا کر انگوٹھی سے گزرنے والے پلازما کو فوکس کرتا ہے، اس طرح پلازما کو ویفر پر فوکس کرتا ہے تاکہ یکسانیت کو بہتر بنایا جا سکے۔ پروسیسنگ روایتی توجہ کی انگوٹی سلکان یا سے بنی ہے۔کوارٹج، conductive سلکان ایک عام توجہ کی انگوٹی مواد کے طور پر، یہ تقریبا سلکان wafers کی چالکتا کے قریب ہے، لیکن کمی فلورین پر مشتمل پلازما میں غریب اینچنگ مزاحمت ہے، اینچنگ مشین حصوں کے مواد کو اکثر وقت کی مدت کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، وہاں سنگین ہو جائے گا. سنکنرن رجحان، سنجیدگی سے اس کی پیداوار کی کارکردگی کو کم کرنے.

Solid SiC فوکس رنگکام کرنے کا اصول：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ:

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم	اور	CVD SiC
کثافت (g/cm³)	2.33	3.21
بینڈ گیپ (eV)	1.12	2.3
تھرمل چالکتا (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
لچکدار ماڈیولس (GPa)	150	440
سختی (GPa)	11.4	24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت	غریب	بہترین

VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر کے آلات کے لیے SIC فوکسنگ رِنگز جیسے ایڈوانسڈ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) پارٹس پیش کرتا ہے۔ ہمارے ٹھوس سلکان کاربائیڈ فوکسنگ رِنگز روایتی سلیکون کو مکینیکل طاقت، کیمیائی مزاحمت، تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت کی پائیداری، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔

ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز کی اہم خصوصیات میں شامل ہیں۔:

اینچنگ کی کم شرحوں کے لیے اعلی کثافت۔

اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ بہترین موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی، لباس مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت.

کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا گیا ہے۔پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیک، ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایچنگ کے عمل کی بڑھتی ہوئی مانگ کو پورا کرتے ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں، خاص طور پرcapacitively کپلڈ پلازما (CCP)نظام

VeTek Semiconductor کے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور قابل اعتمادی فراہم کرتے ہیں۔ اعلیٰ معیار اور کارکردگی کے لیے ہمارے SiC اجزاء کا انتخاب کریں۔

View as

ٹھوس سی سی گیس شاور ہیڈ

VeTek Semiconductor چین میں ایک سرکردہ سالڈ SiC گیس شاور ہیڈ بنانے والا اور اختراع کار ہے۔ ہم کئی سالوں سے سیمی کنڈکٹر میٹریل میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ وی ٹیک سیمی کنڈکٹر سالڈ SiC گیس شاور ہیڈ کا ملٹی پوروسیٹی ڈیزائن اس بات کو یقینی بناتا ہے کہ CVD کے عمل میں پیدا ہونے والی حرارت کو منتشر کیا جا سکے۔ اس بات کو یقینی بناتے ہوئے کہ سبسٹریٹ کو یکساں طور پر گرم کیا جائے۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

کیمیائی بخارات جمع کرنے کا عمل ٹھوس SiC ایج رنگ

VeTek Semiconductor چین میں ایک سرکردہ کیمیائی بخارات جمع کرنے کا عمل ٹھوس SiC Edge رنگ بنانے والا اور اختراع کار ہے۔ ہم کئی سالوں سے سیمی کنڈکٹر مواد میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ VeTek Semiconductor ٹھوس SiC edge رِنگ بہتر ایچنگ یکسانیت اور عین مطابق ویفر پوزیشننگ پیش کرتا ہے جب الیکٹروچک کے ساتھ استعمال کیا جاتا ہے۔ مستقل اور قابل اعتماد ایچنگ کے نتائج کو یقینی بنانا۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

ٹھوس سی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ

VeTek Semiconductor چین میں ایک سرکردہ سالڈ SiC Etching Focusing Ring بنانے والا اور اختراع کار ہے۔ ہم کئی سالوں سے SiC میٹریل میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ سالڈ SiC کو بہترین تھرمو کیمیکل استحکام، اعلی مکینیکل طاقت اور پلازما کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے فوکس کرنے والے رنگ کے مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی پارٹنر بننے کے منتظر ہیں۔

مزید پڑھ انکوائری بھیجیں۔

<1 2 >

چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائیڈ مینوفیکچرر اور سپلائر کے طور پر، ہماری اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے علاقے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لیے حسب ضرورت خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں تیار کردہ جدید اور پائیدار ٹھوس سلیکن کاربائیڈ خریدنا ہو، آپ ہمیں ایک پیغام دے سکتے ہیں۔