SiC کوٹنگ ALD susceptor

VeTek سیمی کنڈکٹرSiC کوٹنگ ALD susceptorجوہری تہہ جمع کرنے میں اہم کردار ادا کرتا ہے (اے ایل ڈی) عمل۔ اس کا درست درجہ حرارت کنٹرول، گیس کی یکساں تقسیم، اعلی کیمیائی مزاحمت اور بہترین تھرمل چالکتا فلم جمع کرنے کے عمل کی یکسانیت اور اعلیٰ معیار کو یقینی بناتی ہے۔ اگر آپ مزید جاننا چاہتے ہیں، تو آپ فوری طور پر ہم سے مشورہ کر سکتے ہیں اور ہم آپ کو وقت پر جواب دیں گے!

عین مطابق درجہ حرارت کنٹرول:

SiC کوٹنگ ALD susceptor میں عام طور پر اعلی صحت سے متعلق درجہ حرارت کنٹرول سسٹم ہوتا ہے۔ یہ جمع کرنے کے پورے عمل میں درجہ حرارت کے یکساں ماحول کو برقرار رکھنے کے قابل ہے، جو فلم کی یکسانیت اور معیار کو یقینی بنانے کے لیے اہم ہے۔

گیس کی یکساں تقسیم:

SiC کوٹنگ ALD susceptor کا بہترین ڈیزائن ALD جمع کرنے کے عمل کے دوران گیس کی یکساں تقسیم کو یقینی بناتا ہے۔ اس کی ساخت میں عام طور پر متعدد گھومنے یا حرکت کرنے والے پرزے شامل ہوتے ہیں تاکہ پوری ویفر کی سطح پر رد عمل والی گیسوں کی یکساں کوریج کو فروغ دیا جا سکے۔

اعلی کیمیائی مزاحمت:

چونکہ ALD کے عمل میں مختلف قسم کی کیمیائی گیسیں شامل ہوتی ہیں، اس لیے SiC کوٹنگ ALD susceptor عام طور پر سنکنرن مزاحم مواد (جیسے پلاٹینم، سیرامکس یا ہائی پیوریٹی کوارٹز) سے بنا ہوتا ہے تاکہ کیمیائی گیسوں کے کٹاؤ اور اعلی درجہ حرارت کے ماحول کے اثر کو روکا جا سکے۔

بہترین تھرمل چالکتا:

حرارت کو مؤثر طریقے سے چلانے اور ایک مستحکم جمع درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لیے، SiC کوٹنگ ALD susceptors عام طور پر اعلی تھرمل چالکتا مواد استعمال کرتے ہیں۔ اس سے مقامی حد سے زیادہ گرمی اور ناہموار جمع ہونے سے بچنے میں مدد ملتی ہے۔

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات:

پیداوار کی دکانیں۔:

سیمی کنڈکٹر چپ ایپیٹیکسی انڈسٹری چین کا جائزہ：