ایک پیشہ ور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرر اور سپلائر کے طور پر، VeTek Semiconductor SiC epitaxial گروتھ سسٹم کے لیے درکار گریفائٹ اجزاء کی ایک قسم فراہم کر سکتا ہے۔ یہ SiC کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ پارٹس ایپیٹیکسیل ری ایکٹر کے گیس انلیٹ سیکشن کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں اور سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کو بہتر بنانے میں اہم کردار ادا کرتے ہیں۔ VeTek Semiconductor ہمیشہ صارفین کو انتہائی مسابقتی قیمتوں پر بہترین معیار کی مصنوعات فراہم کرنے کی کوشش کرتا ہے۔ VeTek Semiconductor چین میں آپ کا طویل مدتی پارٹنر بننے کا منتظر ہے۔
SiC epitaxial گروتھ فرنس کے ری ایکشن چیمبر میں، SiC کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ پرزے گیس کے بہاؤ کی تقسیم، تھرمل فیلڈ کنٹرول، اور رد عمل کی فضا کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لیے کلیدی اجزاء ہیں۔ وہ عام طور پر SiC کوٹنگ سے بنے ہوتے ہیں۔گریفائٹ,آدھے چاند کی شکل میں ڈیزائن کیا گیا ہے، جو ری ایکشن چیمبر کے اوپری اور نچلے گریفائٹ حصوں میں، سبسٹریٹ ایریا کے ارد گرد واقع ہے۔
•اوپری ہاف مون گریفائٹ حصہ: رد عمل کے چیمبر کے اوپری حصے میں نصب، گیس انلیٹ کے قریب، رد عمل کی گیس کو سبسٹریٹ کی سطح کی طرف بہنے کی رہنمائی کے لیے ذمہ دار ہے۔
•نصف چاند گریفائٹ کا نچلا حصہ: ری ایکشن چیمبر کے نچلے حصے میں واقع، عام طور پر سبسٹریٹ ہولڈر کے نیچے، گیس کے بہاؤ کی سمت کو کنٹرول کرنے اور سبسٹریٹ کے نیچے تھرمل فیلڈ اور گیس کی تقسیم کو بہتر بنانے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے۔
کے دورانایس آئی سی ایپیٹیکسی عمل، اوپری آدھے چاند کا گریفائٹ حصہ سبسٹریٹ پر گیس کے بہاؤ کو یکساں طور پر تقسیم کرنے میں مدد کرتا ہے، گیس کو براہ راست سبسٹریٹ کی سطح پر اثر انداز ہونے سے روکتا ہے اور مقامی حد سے زیادہ گرمی یا ہوا کے بہاؤ میں ہنگامہ آرائی کا باعث بنتا ہے۔ آدھے چاند کا گریفائٹ کا نچلا حصہ گیس کو سبسٹریٹ کے ذریعے آسانی سے بہنے دیتا ہے اور پھر خارج ہونے دیتا ہے، جبکہ ہنگامہ خیزی کو اپیٹیکسیل پرت کی ترقی کی یکسانیت کو متاثر کرنے سے روکتا ہے۔
تھرمل فیلڈ ریگولیشن کے لحاظ سے,SiC کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ حصے شکل اور پوزیشن کے ذریعے رد عمل کے چیمبر میں گرمی کو یکساں طور پر تقسیم کرنے میں مدد کرتے ہیں۔ اوپری ہاف مون گریفائٹ کا حصہ مؤثر طریقے سے ہیٹر کی چمکیلی حرارت کی عکاسی کر سکتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جا سکے کہ سبسٹریٹ کے اوپر کا درجہ حرارت مستحکم ہے۔ نچلے آدھے چاند کے گریفائٹ کا حصہ بھی اسی طرح کا کردار رکھتا ہے، جو درجہ حرارت کے ضرورت سے زیادہ فرق کو روکنے کے لیے گرمی کی ترسیل کے ذریعے سبسٹریٹ کے نیچے گرمی کو یکساں طور پر تقسیم کرنے میں مدد کرتا ہے۔
SiC کوٹنگ اجزاء کو اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحم اور تھرمل طور پر کنڈکٹیو بناتی ہے، اس لیے VeTek سیمی کنڈکٹر کے ہاف مون پرزوں کی سروس لائف لمبی ہوتی ہے۔ احتیاط سے ڈیزائن کیا گیا، SiC ایپیٹیکسی کے لیے ہمارے آدھے چاند کے گریفائٹ حصوں کو بغیر کسی رکاوٹ کے بہت سے ایپیٹیکسیل ری ایکٹرز میں ضم کیا جا سکتا ہے، جس سے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کی مجموعی کارکردگی اور وشوسنییتا کو بہتر بنانے میں مدد ملتی ہے۔ آپ کے SiC کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ حصوں کو جو بھی ضرورت ہو، براہ کرم VeTek سیمی کنڈکٹر سے رابطہ کریں۔
VeteksemSiC کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ پارٹس کی دکانیں۔: