ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ کیا ہے؟

ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) سیرامک ​​مواد کا پگھلنے کا نقطہ 3880 ℃ تک ہے اور یہ ایک مرکب ہے جس میں اعلی پگھلنے والے نقطہ اور اچھی کیمیائی استحکام ہے۔ یہ اعلی درجہ حرارت کے ماحول میں مستحکم کارکردگی کو برقرار رکھ سکتا ہے۔ اس کے علاوہ، اس میں اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، کیمیائی سنکنرن مزاحمت، اور کاربن مواد کے ساتھ اچھی کیمیائی اور مکینیکل مطابقت بھی ہے، جو اسے ایک مثالی گریفائٹ سبسٹریٹ حفاظتی کوٹنگ مواد بناتی ہے۔ 

ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ کے اجزاء کو گرم امونیا، ہائیڈروجن، سلیکون بخارات، اور پگھلی ہوئی دھات کے اثرات سے مؤثر طریقے سے محفوظ کر سکتی ہے، سخت استعمال والے ماحول میں، گریفائٹ کے اجزاء کی سروس لائف کو نمایاں طور پر بڑھاتی ہے اور گریفائٹ میں نجاست کی منتقلی کو دباتی ہے، اس کے معیار کو یقینی بناتی ہے۔epitaxialاورکرسٹل ترقی.

تصویر 1. عام ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت اجزاء

کیمیائی بخارات جمع کرنا (CVD) گریفائٹ کی سطحوں پر ٹی اے سی کوٹنگز تیار کرنے کا سب سے پختہ اور بہترین طریقہ ہے۔

TaCl5 اور Propylene کو بالترتیب کاربن اور tantalum ذرائع کے طور پر استعمال کرتے ہوئے، اور argon کو کیریئر گیس کے طور پر استعمال کرتے ہوئے، اعلی درجہ حرارت کے بخارات والے TaCl5 بخارات کو رد عمل کے چیمبر میں متعارف کرایا جاتا ہے۔ ہدف کے درجہ حرارت اور دباؤ پر، پیشگی مواد کے بخارات گریفائٹ کی سطح پر جذب ہوتے ہیں، پیچیدہ کیمیائی رد عمل کی ایک سیریز سے گزرتے ہیں جیسے کاربن اور ٹینٹلم ذرائع کے گلنے اور ان کا مجموعہ، نیز سطح کے رد عمل کی ایک سیریز جیسے کہ پھیلاؤ اور ان کا اخراج۔ پیشگی کے ضمنی مصنوعات آخر میں، گریفائٹ کی سطح پر ایک گھنی حفاظتی تہہ بنتی ہے، جو گریفائٹ کو انتہائی ماحولیاتی حالات میں مستحکم وجود سے بچاتی ہے اور گریفائٹ مواد کے اطلاق کے منظرناموں کو نمایاں طور پر وسعت دیتی ہے۔

تصویر 2۔کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) عمل کا اصول

VeTek سیمی کنڈکٹربنیادی طور پر ٹینٹلم کاربائیڈ پروڈکٹس فراہم کرتا ہے: TaC گائیڈ کی انگوٹی، TaC کوٹیڈ تین پنکھڑی کی انگوٹھی، TaC کوٹنگ کروسیبل، TaC کوٹنگ غیر محفوظ گریفائٹ بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے SiC کرسٹل گروتھ پروسیس؛ TaC کوٹیڈ کے ساتھ غیر محفوظ گریفائٹ، TaC کوٹیڈ گائیڈ رنگ، TaC کوٹڈ گریفائٹ ویفر کیریئر، ٹی اے سی کوٹنگ سسپٹرز، پلینٹری سسپٹر، ٹی اے سی لیپت سیٹلائٹ سسپٹر، اور یہ ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ مصنوعات بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہیں۔سی سی ایپیٹیکسی عملاورSiC سنگل کرسٹل ترقی کا عمل.

تصویر 3۔VeTek سیمی کنڈکٹر کی سب سے مشہور ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ پروڈکٹس