VeTek سیمی کنڈکٹر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری کے لیے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ میٹریل کا ایک سرکردہ صنعت کار ہے۔ ہماری اہم مصنوعات کی پیشکشوں میں سی وی ڈی ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ پارٹس، ایس آئی سی کرسٹل گروتھ یا سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی عمل کے لیے سنٹرڈ TaC کوٹنگ پارٹس شامل ہیں۔ ISO9001 پاس کیا، VeTek سیمی کنڈکٹر کوالٹی پر اچھا کنٹرول ہے۔ VeTek Semiconductor مسلسل تحقیق اور تکراری ٹیکنالوجیز کی ترقی کے ذریعے ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ انڈسٹری میں اختراعی بننے کے لیے وقف ہے۔
اہم مصنوعات ہیںٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ ڈیفیکٹر رِنگ، ٹی اے سی لیپت ڈائیورژن رنگ، ٹی اے سی لیپت ہاف مون پارٹس، ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت پلینٹری روٹیشن ڈسک (ایکسٹرون جی 10)، ٹی اے سی کوٹڈ کروسیبل؛ ٹی اے سی لیپت حلقے؛ ٹی اے سی لیپت غیر محفوظ گریفائٹ؛ ٹینٹلم کاربائیڈ کوٹنگ گریفائٹ سسپٹر؛ ٹی اے سی لیپت گائیڈ رنگ؛ ٹی اے سی ٹینٹلم کاربائیڈ لیپت پلیٹ؛ TaC لیپت Wafer Susceptor؛ ٹی اے سی کوٹنگ رنگ؛ ٹی اے سی کوٹنگ گریفائٹ کور؛ ٹی اے سی لیپت ٹکڑاوغیرہ، طہارت 5ppm سے کم ہے، کسٹمر کی ضروریات کو پورا کر سکتی ہے۔
ٹی اے سی کوٹنگ گریفائٹ ایک ملکیتی کیمیائی بخارات جمع کرنے (سی وی ڈی) کے عمل کے ذریعے ٹینٹلم کاربائیڈ کی باریک تہہ کے ساتھ اعلیٰ پاکیزہ گریفائٹ سبسٹریٹ کی سطح کو کوٹنگ کر کے بنایا گیا ہے۔ فائدہ ذیل کی تصویر میں دکھایا گیا ہے:
ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ نے 3880°C تک اپنے اعلیٰ پگھلنے کے نقطہ، بہترین مکینیکل طاقت، سختی، اور تھرمل جھٹکوں کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے توجہ حاصل کی ہے، جس سے یہ اعلی درجہ حرارت کی ضروریات کے ساتھ کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسی عمل کا ایک پرکشش متبادل بنا ہوا ہے۔ جیسے Aixtron MOCVD سسٹم اور LPE SiC epitaxy process. PVT طریقہ SiC کرسٹل گروتھ پروسیس میں بھی اس کا وسیع اطلاق ہے۔
●درجہ حرارت کا استحکام
●انتہائی اعلی طہارت
●H2، NH3، SiH4، Si کے خلاف مزاحمت
●تھرمل اسٹاک کے خلاف مزاحمت
●گریفائٹ سے مضبوط آسنجن
●کنفارمل کوٹنگ کوریج
● سائز 750 ملی میٹر قطر تک (چین میں واحد صنعت کار اس سائز تک پہنچتا ہے)
● آگہی حرارتی susceptor
● مزاحمتی حرارتی عنصر
● ہیٹ شیلڈ
ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات | |
کثافت | 14.3 (g/cm³) |
مخصوص اخراج | 0.3 |
تھرمل توسیع گتانک | 6.3 10-6/K |
سختی (HK) | 2000 HK |
مزاحمت | 1×10-5اوہم * سینٹی میٹر |
تھرمل استحکام | <2500℃ |
گریفائٹ سائز میں تبدیلی | -10~-20um |
کوٹنگ کی موٹائی | ≥20um عام قدر (35um±10um) |
عنصر | جوہری فیصد | |||
Pt 1 | Pt 2 | Pt 3 | اوسط | |
سی کے | 52.10 | 57.41 | 52.37 | 53.96 |
ایم | 47.90 | 42.59 | 47.63 | 46.04 |