VeTek Semiconductor TaC Coating Susceptor پیش کرتا ہے، اپنی غیر معمولی TaC کوٹنگ کے ساتھ، یہ سسپٹر بہت سارے فوائد پیش کرتا ہے جو اسے روایتی حل سے الگ کرتا ہے۔ موجودہ نظاموں میں بغیر کسی رکاوٹ کے انضمام، VeTek سیمی کنڈکٹر سے TaC کوٹنگ سسیپٹر مطابقت اور موثر آپریشن کی ضمانت دیتا ہے۔ اس کی قابل اعتماد کارکردگی اور اعلیٰ معیار کی TaC کوٹنگ مسلسل SiC epitaxy کے عمل میں غیر معمولی نتائج فراہم کرتی ہے۔ ہم مسابقتی قیمتوں پر معیاری مصنوعات فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہیں اور چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
VeTek سیمی کنڈکٹر کا TaC کوٹڈ سسیپٹر اور انگوٹھی LPE سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسیل گروتھ ری ایکٹر میں ایک ساتھ کام کرتے ہیں:
اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت: TaC کوٹنگ سسپٹر میں اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت بہترین ہے، جو LPE ری ایکٹر میں 1500°C تک انتہائی درجہ حرارت کو برداشت کرنے کے قابل ہے۔ یہ یقینی بناتا ہے کہ طویل مدتی آپریشن کے دوران آلات اور اجزاء خراب نہیں ہوتے یا خراب نہیں ہوتے۔
کیمیائی استحکام: TaC کوٹنگ سسپٹر سنکنرن سلیکون کاربائیڈ کی نشوونما کے ماحول میں غیر معمولی طور پر اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتا ہے، مؤثر طریقے سے ری ایکٹر کے اجزاء کو سنکنرن کیمیائی حملے سے بچاتا ہے، اس طرح ان کی سروس کی زندگی میں توسیع ہوتی ہے۔
تھرمل استحکام: ٹی اے سی کوٹنگ سسیپٹر میں اچھی تھرمل استحکام ہے، جو ری ایکٹر میں درجہ حرارت کے میدان کی یکسانیت کو یقینی بنانے کے لیے سطح کی شکل اور کھردری کو برقرار رکھتا ہے، جو سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسیل تہوں کی اعلیٰ معیار کی نشوونما کے لیے فائدہ مند ہے۔
انسداد آلودگی: ہموار TaC لیپت سطح اور اعلیٰ TPD (ٹیمپریچر پروگرامڈ ڈیسورپشن) کی کارکردگی ری ایکٹر کے اندر ذرات اور نجاست کے جمع ہونے اور جذب کو کم کر سکتی ہے، جس سے epitaxial تہوں کی آلودگی کو روکا جا سکتا ہے۔
خلاصہ طور پر، TaC کوٹڈ سسیپٹر اور انگوٹھی LPE سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسیل گروتھ ری ایکٹر میں ایک اہم حفاظتی کردار ادا کرتے ہیں، جو آلات کے طویل مدتی مستحکم آپریشن اور اپیٹیکسیل تہوں کی اعلیٰ معیار کی نشوونما کو یقینی بناتے ہیں۔
ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات | |
کثافت | 14.3 (g/cm³) |
مخصوص اخراج | 0.3 |
تھرمل توسیع گتانک | 6.3 10-6/K |
سختی (HK) | 2000 HK |
مزاحمت | 1×10-5 اوہم*سینٹی میٹر |
تھرمل استحکام | <2500℃ |
گریفائٹ سائز میں تبدیلی | -10~-20um |
کوٹنگ کی موٹائی | ≥20um عام قدر (35um±10um) |