ٹی اے سی کوٹنگ گائیڈ رِنگز

چین میں TaC کوٹنگ گائیڈ رِنگس پروڈکٹس کے ایک سرکردہ کارخانہ دار کے طور پر، VeTek سیمی کنڈکٹر TaC کوٹڈ گائیڈ رِنگز MOCVD آلات میں اہم اجزاء ہیں، جو ایپیٹیکسیل گروتھ کے دوران گیس کی درست اور مستحکم ترسیل کو یقینی بناتے ہیں، اور سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسیل گروتھ میں ایک ناگزیر مواد ہیں۔ ہم سے مشورہ کرنے میں خوش آمدید۔

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

ٹی اے سی کوٹنگ گائیڈ رِنگز کا فنکشن:

عین مطابق گیس کے بہاؤ کا کنٹرول:دیٹی اے سی کوٹنگ گائیڈ رنگکے گیس انجیکشن سسٹم کے اندر اسٹریٹجک طور پر پوزیشن میں ہے۔MOCVD ری ایکٹر. اس کا بنیادی کام پیشگی گیسوں کے بہاؤ کو ہدایت دینا اور سبسٹریٹ ویفر سطح پر ان کی یکساں تقسیم کو یقینی بنانا ہے۔ گیس کے بہاؤ کی حرکیات پر یہ قطعی کنٹرول یکساں ایپیٹیکسیل پرت کی نشوونما اور مطلوبہ مادی خصوصیات کے حصول کے لیے ضروری ہے۔

تھرمل مینجمنٹ: TaC کوٹنگ گائیڈ رِنگز اکثر اونچے درجہ حرارت پر چلتے ہیں کیونکہ ان کے گرم سسپٹر اور سبسٹریٹ سے قربت ہوتی ہے۔ TaC کی بہترین تھرمل چالکتا گرمی کو مؤثر طریقے سے ختم کرنے میں مدد کرتی ہے، مقامی حد سے زیادہ گرمی کو روکتی ہے اور ری ایکشن زون کے اندر درجہ حرارت کو مستحکم رکھتی ہے۔

MOCVD میں TaC کے فوائد:

انتہائی درجہ حرارت کی مزاحمت: TaC تمام مواد میں سب سے زیادہ پگھلنے والے پوائنٹس میں سے ایک پر فخر کرتا ہے، جو 3800°C سے زیادہ ہے۔

بقایا کیمیائی جڑت: TaC MOCVD میں استعمال ہونے والی رد عمل کی پیشگی گیسوں، جیسے امونیا، سائلین، اور مختلف دھاتی-نامیاتی مرکبات سے سنکنرن اور کیمیائی حملے کے خلاف غیر معمولی مزاحمت کو ظاہر کرتا ہے۔

کی جسمانی خصوصیاتٹی اے سی کوٹنگ:

کی جسمانی خصوصیاتٹی اے سی کوٹنگ
کثافت	14.3 (g/cm³)
مخصوص اخراج	0.3
تھرمل توسیع گتانک	6.3*10^-6/K
سختی (HK)	2000 HK
مزاحمت	1×10^-5اوہم * سینٹی میٹر
تھرمل استحکام	<2500℃
گریفائٹ سائز میں تبدیلی	-10~-20um
کوٹنگ کی موٹائی	≥20um عام قدر (35um±10um)

MOCVD کارکردگی کے لیے فوائد:

MOCVD آلات میں VeTek سیمی کنڈکٹر TaC کوٹنگ گائیڈ رنگ کا استعمال اس میں نمایاں حصہ ڈالتا ہے:

آلات کے اپ ٹائم میں اضافہ: TaC کوٹنگ گائیڈ رنگ کی پائیداری اور توسیع شدہ عمر بار بار تبدیل کرنے کی ضرورت کو کم کرتی ہے، دیکھ بھال کے وقت کو کم سے کم کرتی ہے اور MOCVD سسٹم کی آپریشنل کارکردگی کو زیادہ سے زیادہ کرتی ہے۔

بہتر عمل استحکام: TaC کا تھرمل استحکام اور کیمیائی جڑتا MOCVD چیمبر کے اندر ایک زیادہ مستحکم اور کنٹرول شدہ رد عمل کے ماحول میں حصہ ڈالتا ہے، عمل کی مختلف حالتوں کو کم کرتا ہے اور تولیدی صلاحیت کو بہتر بناتا ہے۔

ایپیٹیکسیل پرت کی یکسانیت میں بہتری: TaC کوٹنگ گائیڈ رِنگز کے ذریعے فراہم کردہ گیس کے بہاؤ کا درست کنٹرول یکساں پیشگی تقسیم کو یقینی بناتا ہے، جس کے نتیجے میں انتہائی یکساں ہوتی ہے۔epitaxial پرت کی ترقیمستقل موٹائی اور ساخت کے ساتھ۔

ٹینٹلم کاربائیڈ (ٹی اے سی) کوٹنگمائکروسکوپک کراس سیکشن پر:

Tantalum carbide (TaC) coating on a microscopic cross-section 1