VeTek سیمی کنڈکٹر کے TaC کوٹنگ چک میں ایک اعلیٰ معیار کی TaC کوٹنگ ہے، جو کہ اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت اور کیمیائی جڑت کے لیے جانا جاتا ہے، خاص طور پر سلکان کاربائیڈ (SiC) ایپیٹیکسی (EPI) کے عمل میں۔ اپنی غیر معمولی خصوصیات اور اعلیٰ کارکردگی کے ساتھ، ہمارا TaC کوٹنگ چک کئی اہم فوائد پیش کرتا ہے۔ ہم مسابقتی قیمتوں پر معیاری مصنوعات فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہیں اور چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
VeTek سیمی کنڈکٹر کا TaC کوٹنگ چک SiC EPI عمل میں غیر معمولی نتائج حاصل کرنے کے لیے مثالی حل ہے۔ اس کی TaC کوٹنگ، اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، اور کیمیائی جڑت کے ساتھ، ہماری پروڈکٹ آپ کو درستگی اور بھروسے کے ساتھ اعلیٰ معیار کے کرسٹل تیار کرنے کا اختیار دیتی ہے۔ ہم سے پوچھنے میں خوش آمدید۔
ٹی اے سی (ٹینٹلم کاربائیڈ) ایک ایسا مواد ہے جو عام طور پر ایپیٹیکسیل آلات کے اندرونی حصوں کی سطح کو کوٹ کرنے کے لیے استعمال ہوتا ہے۔ اس میں درج ذیل خصوصیات ہیں:
● بہترین اعلی درجہ حرارت مزاحمت: TaC کوٹنگز 2200 ° C تک درجہ حرارت کو برداشت کر سکتی ہیں، جو انہیں اعلی درجہ حرارت والے ماحول جیسے ایپیٹیکسیل ری ایکشن چیمبرز میں استعمال کے لیے مثالی بناتی ہیں۔
● اعلی سختی: TaC کی سختی تقریباً 2000 HK تک پہنچ جاتی ہے، جو عام طور پر استعمال ہونے والے سٹینلیس سٹیل یا ایلومینیم کے مرکب سے کہیں زیادہ سخت ہوتی ہے، جو سطحی لباس کو مؤثر طریقے سے روک سکتی ہے۔
● مضبوط کیمیائی استحکام: TaC کوٹنگ کیمیائی طور پر سنکنرن ماحول میں اچھی کارکردگی کا مظاہرہ کرتی ہے اور ایپیٹیکسیل آلات کے اجزاء کی سروس لائف کو بہت زیادہ بڑھا سکتی ہے۔
● اچھی برقی چالکتا: TaC کوٹنگ میں اچھی برقی چالکتا ہے، جو الیکٹرو سٹیٹک ریلیز اور حرارت کی ترسیل کے لیے موزوں ہے۔
یہ خصوصیات TaC کوٹنگ کو اہم حصوں جیسے اندرونی جھاڑیوں، رد عمل کے چیمبر کی دیواروں، اور epitaxial آلات کے لیے حرارتی عناصر کی تیاری کے لیے ایک مثالی مواد بناتی ہیں۔ ان اجزاء کو ٹی اے سی کے ساتھ مل کر، ایپیٹیکسیل آلات کی مجموعی کارکردگی اور سروس لائف کو بہتر بنایا جا سکتا ہے۔
سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسی کے لیے، TaC کوٹنگ کا حصہ بھی اہم کردار ادا کر سکتا ہے۔ TaC کی سطح کوٹنگ ہموار اور گھنی ہے، جو اعلیٰ معیار کی سلکان کاربائیڈ فلموں کی تشکیل کے لیے موزوں ہے۔ ایک ہی وقت میں، TaC کی بہترین تھرمل چالکتا آلات کے اندر درجہ حرارت کی تقسیم کی یکسانیت کو بہتر بنانے میں مدد کر سکتی ہے، اس طرح اپیٹیکسیل عمل کی درجہ حرارت کنٹرول کی درستگی کو بہتر بناتی ہے، اور بالآخر اعلیٰ معیار کے سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسیل پرت کی ترقی کو حاصل کرتی ہے۔
ٹی اے سی کوٹنگ کی جسمانی خصوصیات | |
کثافت | 14.3 (g/cm³) |
مخصوص اخراج | 0.3 |
تھرمل توسیع گتانک | 6.3*10-6/K |
سختی (HK) | 2000 HK |
مزاحمت | 1×10-5اوہم * سینٹی میٹر |
تھرمل استحکام | <2500℃ |
گریفائٹ سائز میں تبدیلی | -10~-20um |
کوٹنگ کی موٹائی | ≥20um عام قدر (35um±10um) |