سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر

چین میں ایک پیشہ ور سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر مینوفیکچرر اور سپلائر کے طور پر، سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر ایک اعلیٰ کارکردگی والا ہیٹر ہے جو گریفائٹ سبسٹریٹ سے بنا ہے اور اس کی سطح پر سلکان کاربن سیرامک (SiC) کوٹنگ کے ساتھ لیپت ہے۔ اس کے جامع مواد کے ڈیزائن کے ساتھ، یہ پروڈکٹ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں بہترین حرارتی حل فراہم کرتا ہے۔ آپ کی انکوائری کا خیر مقدم کرتے ہیں.

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

VeTek سیمی کنڈکٹر سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹراعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، سنکنرن مزاحمت اور سلکان کاربن سیرامک کوٹنگ کے لباس کے خلاف مزاحمت کے ساتھ گریفائٹ کی بہترین برقی اور تھرمل چالکتا کو یکجا کرتا ہے، اور سخت سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ ماحول کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔

سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹربنیادی طور پر ویکیوم کوٹنگ (وانپیکرن) کے سامان میں استعمال کیا جاتا ہے، اور عام طور پر استعمال ہونے والے طریقے PCD (پلازما کیمیکل خشک کرنے والی) اور PVD (جسمانی بخارات جمع) ہیں۔ اس پروڈکٹ نے سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں تکنیکی ترقی کو فروغ دینے اور پیداواری کارکردگی کو بہتر بنانے میں اہم کردار ادا کیا ہے۔ہم خلوص دل سے آپ کے ساتھ مزید تعاون کے منتظر ہیں۔.

سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر کی مادی اور ساختی خصوصیات درج ذیل ہیں:

گریفائٹ سبسٹریٹ: گریفائٹ اپنی اعلی تھرمل چالکتا اور کم تھرمل توسیع گتانک کے لیے جانا جاتا ہے۔ یہ درجہ حرارت کی تبدیلیوں کا فوری جواب دے سکتا ہے اور اعلی درجہ حرارت پر ساختی استحکام کو برقرار رکھ سکتا ہے۔

سلیکن کاربن سیرامک کوٹنگ: SiC کوٹنگ کیمیکل بخارات جمع کرنے یا دیگر جدید عمل کے ذریعے گریفائٹ کی سطح پر یکساں طور پر لیپت ہوتی ہے۔ SiC میں انتہائی سختی اور کیمیائی سنکنرن مزاحمت ہے، جو گریفائٹ سبسٹریٹ کو اعلی درجہ حرارت کے آکسیکرن اور سنکنرن ماحول سے بچا سکتی ہے۔

سلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر کا خصوصی پروڈکٹ ساختی ڈیزائن طے کرتا ہے۔سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ کے عمل میں اس پروڈکٹ کے ناقابل بدلنے والے مصنوعات کے فوائد:

موثر اور یکساں حرارتی نظام:

تھرمل چالکتا: گریفائٹ کی اعلی تھرمل چالکتا ہیٹر کو فوری طور پر مطلوبہ درجہ حرارت تک پہنچنے اور برقرار رکھنے کے قابل بناتی ہے، اور SiC کوٹنگ گرمی کی یکساں تقسیم کو یقینی بناتی ہے۔ یہ خاص طور پر سیمی کنڈکٹر کے عمل کے لیے اہم ہے جن کے لیے درجہ حرارت کے عین مطابق کنٹرول کی ضرورت ہوتی ہے، جیسے تیز تھرمل پروسیسنگ (RTP) اور کیمیائی بخارات جمع (CVD)۔

درجہ حرارت کی یکسانیت: گرمی کی یکساں تقسیم کے ذریعے، سیلیکون کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر تھرمل تناؤ اور درجہ حرارت کے میلان کو مؤثر طریقے سے کم کر سکتا ہے، جس سے ہیٹنگ کے پورے عمل میں سیمی کنڈکٹر ویفرز کی مستقل مزاجی اور معیار کے استحکام کو یقینی بنایا جا سکتا ہے۔

مخالف سنکنرن تحفظ:

کیمیائی مزاحمت: SiC کوٹنگ کی کیمیائی سنکنرن مزاحمت ہیٹر کو مستحکم اور طویل عرصے تک سنکنرن گیس اور کیمیائی ماحول میں کام کرنے کے قابل بناتی ہے، گریفائٹ سبسٹریٹ کو پہنچنے والے نقصان سے بچاتی ہے۔ یہ خصوصیت کیمیائی بخارات جمع کرنے (CVD) اور پلازما میں اضافہ شدہ کیمیائی بخارات جمع (PECVD) جیسے عمل میں خاص طور پر اہم ہے۔

آکسیکرن مزاحمت: اعلی درجہ حرارت پر، SiC کوٹنگ گریفائٹ سبسٹریٹ کے آکسیڈیشن کو روک سکتی ہے، ہیٹر کی سروس لائف کو بڑھا سکتی ہے، اور سامان کی دیکھ بھال کی فریکوئنسی اور لاگت کو کم کر سکتی ہے۔

ذرات کی آلودگی کو کم کریں۔:

سطح کا استحکام: SiC کوٹنگ نہ صرف لباس مزاحم ہے، بلکہ تھرمل سائیکلنگ یا کیمیائی رد عمل کی وجہ سے ذرات کو مواد کی سطح سے گرنے سے بھی روکتی ہے، اس طرح سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے دوران ہونے والے ذرات کی آلودگی کے خطرے کو کم کرتی ہے اور صفائی کے اعلیٰ ماحول کو یقینی بناتی ہے۔

عمل کی وشوسنییتا اور کارکردگی کو بہتر بنائیں:

طویل زندگی ڈیزائن: گریفائٹ کی مکینیکل طاقت اور SiC کوٹنگ کی لباس مزاحمت کے امتزاج کی وجہ سے، سلیکون کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر سخت عمل کے حالات میں طویل عرصے تک اعلی کارکردگی کو برقرار رکھ سکتا ہے، جس سے سامان کی مجموعی وشوسنییتا میں نمایاں طور پر بہتری آتی ہے۔

توانائی کا موثر استعمال: گریفائٹ کی اعلی تھرمل چالکتا اور SiC کوٹنگ کا اعلی درجہ حرارت استحکام ہیٹر کو توانائی کی کھپت کو کم کرنے کے قابل بناتا ہے جبکہ درجہ حرارت کو کنٹرول کرنے کی درستگی کو بہتر بناتا ہے، اس طرح سیمی کنڈکٹر کی پیداوار کی مجموعی کارکردگی کو بہتر بناتا ہے۔

کی بنیادی جسمانی خصوصیاتسلکان کاربائیڈ سیرامک کوٹنگ گریفائٹ ہیٹر: