سیمی کنڈکٹر تھرمل سپرےنگ ٹیکنالوجی

سیمی کنڈکٹر تھرمل سپرےنگ ٹیکنالوجی ایک جدید عمل ہے جو پگھلی ہوئی یا نیم پگھلی ہوئی حالت میں مواد کو کوٹنگ بنانے کے لیے سبسٹریٹ کی سطح پر اسپرے کرتا ہے۔ یہ ٹکنالوجی سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے میدان میں بڑے پیمانے پر استعمال ہوتی ہے، بنیادی طور پر سبسٹریٹ کی سطح پر مخصوص افعال کے ساتھ کوٹنگز بنانے کے لیے استعمال ہوتی ہے، جیسے چالکتا، موصلیت، سنکنرن مزاحمت، اور آکسیڈیشن مزاحمت۔ تھرمل سپرےنگ ٹیکنالوجی کے اہم فوائد میں اعلی کارکردگی، قابل کنٹرول کوٹنگ کی موٹائی، اور اچھی کوٹنگ چپکنا شامل ہیں، جو اسے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں خاص طور پر اہم بناتا ہے جس کے لیے اعلی درستگی اور بھروسے کی ضرورت ہوتی ہے۔

سیمی کنڈکٹرز میں تھرمل سپرےنگ ٹیکنالوجی کا اطلاق

پلازما بیم اینچنگ (خشک اینچنگ)

عام طور پر گلو ڈسچارج کے استعمال سے مراد ہے پلازما فعال ذرات جن میں چارج شدہ ذرات جیسے پلازما اور الیکٹران اور انتہائی کیمیائی طور پر فعال نیوٹرل ایٹم اور مالیکیولز اور فری ریڈیکلز پیدا ہوتے ہیں، جو کھدائی جانے والے حصے میں پھیل جاتے ہیں، کھدائی کے مواد کے ساتھ رد عمل ظاہر کرتے ہیں، غیر مستحکم بنتے ہیں۔ مصنوعات اور ہٹا دی جاتی ہیں، اس طرح پیٹرن کی منتقلی کی اینچنگ ٹیکنالوجی کو مکمل کیا جاتا ہے۔ یہ انتہائی بڑے پیمانے پر مربوط سرکٹس کی تیاری میں فوٹو لیتھوگرافی ٹیمپلیٹس سے ویفرز تک عمدہ نمونوں کی اعلی مخلصانہ منتقلی کو محسوس کرنے کے لئے ایک ناقابل تلافی عمل ہے۔

ایک بڑی تعداد میں فعال آزاد ریڈیکلز جیسے Cl اور F پیدا ہوں گے۔ جب وہ سیمی کنڈکٹر آلات کو کھینچتے ہیں، تو وہ آلات کے دیگر حصوں کی اندرونی سطحوں کو خراب کرتے ہیں، بشمول ایلومینیم کے مرکب اور سیرامک ​​ساختی حصے۔ یہ مضبوط کٹاؤ بڑی تعداد میں ذرات پیدا کرتا ہے، جس کے لیے نہ صرف پیداواری آلات کی بار بار دیکھ بھال کی ضرورت ہوتی ہے، بلکہ یہ اینچنگ کے عمل کے چیمبر کی ناکامی اور سنگین صورتوں میں ڈیوائس کو نقصان پہنچانے کا سبب بھی بنتا ہے۔

Y2O3 بہت مستحکم کیمیائی اور تھرمل خصوصیات کے ساتھ ایک مواد ہے. اس کا پگھلنے کا نقطہ 2400℃ سے کہیں زیادہ ہے۔ یہ ایک مضبوط سنکنرن ماحول میں مستحکم رہ سکتا ہے۔ پلازما بمباری کے خلاف اس کی مزاحمت اجزاء کی خدمت زندگی کو بہت زیادہ بڑھا سکتی ہے اور اینچنگ چیمبر میں ذرات کو کم کر سکتی ہے۔

مرکزی دھارے کا حل یہ ہے کہ ایچنگ چیمبر اور دیگر اہم اجزاء کی حفاظت کے لیے اعلیٰ پاکیزگی والی Y2O3 کوٹنگ کا اسپرے کیا جائے۔