ریپڈ تھرمل اینیلنگ سسیپٹر

VeTek Semiconductor چین میں ایک سرکردہ ریپڈ تھرمل اینیلنگ سسیپٹر بنانے والا اور اختراع کار ہے۔ ہم کئی سالوں سے SiC کوٹنگ میٹریل میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ ہم ریپڈ تھرمل اینیلنگ سسیپٹر کو اعلیٰ معیار، اعلی درجہ حرارت کے خلاف مزاحمت، انتہائی پتلا کے ساتھ پیش کرتے ہیں۔ ہم آپ کو ہماری آمد پر خوش آمدید کہتے ہیں۔ چین میں فیکٹری.

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

VeTek Semiconductor Rapid Thermal Annealing Susceptor اعلیٰ معیار اور طویل زندگی کے ساتھ ہے، ہم سے پوچھ گچھ کرنے میں خوش آمدید۔

ریپڈ تھرمل اینیل (آر ٹی اے) ریپڈ تھرمل پروسیسنگ کا ایک اہم ذیلی سیٹ ہے جو سیمی کنڈکٹر ڈیوائس فیبریکیشن میں استعمال ہوتا ہے۔ اس میں مختلف ٹارگٹڈ ہیٹ ٹریٹمنٹ کے ذریعے ان کی برقی خصوصیات کو تبدیل کرنے کے لیے انفرادی ویفرز کو گرم کرنا شامل ہے۔ آر ٹی اے کا عمل ڈوپینٹس کو چالو کرنے، فلم سے فلم یا فلم سے ویفر سبسٹریٹ انٹرفیس میں تبدیلی، جمع شدہ فلموں کی کثافت، بڑھی ہوئی فلمی حالتوں میں ترمیم، آئن امپلانٹیشن کے نقصان کی مرمت، ڈوپینٹ موومنٹ، اور فلموں کے درمیان ڈوپینٹس کو چلانے کے قابل بناتا ہے۔ یا ویفر سبسٹریٹ میں۔

VeTek Semiconductor پروڈکٹ، Rapid Thermal Annealing Susceptor، RTP کے عمل میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔ اس کی تعمیر اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ مواد کو استعمال کرتے ہوئے کی گئی ہے جس میں انریٹ سلکان کاربائیڈ (SiC) کی حفاظتی کوٹنگ ہے۔ SiC لیپت سلکان سبسٹریٹ 1100 ° C تک درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے، انتہائی حالات میں بھی قابل اعتماد کارکردگی کو یقینی بناتا ہے۔ SiC کوٹنگ گیس کے اخراج اور پارٹیکل شیڈنگ کے خلاف بہترین تحفظ فراہم کرتی ہے، جس سے مصنوعات کی لمبی عمر کو یقینی بنایا جاتا ہے۔

درست درجہ حرارت کنٹرول کو برقرار رکھنے کے لیے، چپ کو دو اعلیٰ پاکیزگی والے گریفائٹ اجزاء کے درمیان سمیٹا جاتا ہے جو SiC کے ساتھ لیپت ہوتے ہیں۔ درجہ حرارت کی درست پیمائش سبسٹریٹ کے ساتھ رابطے میں مربوط اعلی درجہ حرارت کے سینسر یا تھرموکوپل کے ذریعے حاصل کی جا سکتی ہے۔

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات:

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات
جائیداد	عام قدر
کرسٹل کا ڈھانچہ	ایف سی سی β فیز پولی کرسٹل لائن، بنیادی طور پر (111) پر مبنی
کثافت	3.21 گرام/cm³
سختی	2500 وکرز سختی (500 گرام لوڈ)
اناج کا سائز	2~10μm
کیمیائی طہارت	99.99995%
حرارت کی صلاحیت	640 J·kg-1·K-1
Sublimation درجہ حرارت	2700℃
لچکدار طاقت	415 MPa RT 4 پوائنٹ
ینگ کا ماڈیولس	430 Gpa 4pt موڑ، 1300℃
حرارت کی ایصالیت	300W·m-1·K-1
تھرمل توسیع (CTE)	4.5×10-6K-1