ALD جوہری تہہ جمع کرنے کی ترکیب

مقامی ALD, مقامی طور پر الگ تھلگ جوہری تہہ جمع. ویفر مختلف پوزیشنوں کے درمیان حرکت کرتا ہے اور ہر پوزیشن پر مختلف پیشروؤں کے سامنے آتا ہے۔ ذیل کی تصویر روایتی ALD اور مقامی طور پر الگ تھلگ ALD کے درمیان موازنہ ہے۔

عارضی ALD,عارضی طور پر الگ تھلگ جوہری تہہ جمع. ویفر کو طے کیا جاتا ہے اور پیشگی کو باری باری متعارف کرایا جاتا ہے اور چیمبر میں ہٹا دیا جاتا ہے۔ یہ طریقہ زیادہ متوازن ماحول میں ویفر پر کارروائی کر سکتا ہے، اس طرح نتائج کو بہتر بناتا ہے، جیسے کہ اہم جہتوں کی حد کا بہتر کنٹرول۔ نیچے دی گئی تصویر ٹیمپورل ALD کا اسکیمیٹک ڈایاگرام ہے۔

والو بند کرو، والو بند کرو۔ میں عام طور پر استعمال ہوتا ہے۔，ترکیبیں، ویکیوم پمپ کے والو کو بند کرنے یا ویکیوم پمپ پر اسٹاپ والو کھولنے کے لیے استعمال ہوتی ہیں۔

پیشگی، پیشگی۔ دو یا دو سے زیادہ، ہر ایک مطلوبہ جمع شدہ فلم کے عناصر پر مشتمل ہے، باری باری سبسٹریٹ سطح پر جذب کیے جاتے ہیں، ایک وقت میں صرف ایک پیش خیمہ کے ساتھ، ایک دوسرے سے آزاد۔ ہر پیشگی ایک monolayer بنانے کے لیے سبسٹریٹ کی سطح کو سیر کرتا ہے۔ پیشگی شکل نیچے دی گئی تصویر میں دیکھی جا سکتی ہے۔

صاف کرنا، جسے طہارت بھی کہا جاتا ہے۔ عام صاف کرنے والی گیس، صاف کرنے والی گیس۔جوہری تہہ جمعہر ایک ری ایکٹنٹ کے گلنے اور جذب کے ذریعے ایک پتلی فلم بنانے کے لیے ترتیب وار دو یا زیادہ ری ایکٹنٹس کو ایک ری ایکٹنٹ چیمبر میں رکھ کر جوہری تہوں میں پتلی فلموں کو جمع کرنے کا ایک طریقہ ہے۔ یعنی چیمبر کے اندر کیمیاوی طور پر جمع کرنے کے لیے پہلی رد عمل والی گیس سپلائی کے انداز میں فراہم کی جاتی ہے، اور جسمانی طور پر منسلک بقایا پہلی رد عمل گیس کو صاف کرکے ہٹا دیا جاتا ہے۔ اس کے بعد، دوسری رد عمل والی گیس بھی نبض اور صاف کرنے کے عمل کے ذریعے پہلے رد عمل والی گیس کے ساتھ ایک کیمیائی بانڈ بناتی ہے، اس طرح مطلوبہ فلم کو سبسٹریٹ پر جمع کرتی ہے۔ پرج کو نیچے دی گئی تصویر میں دیکھا جا سکتا ہے۔

سائیکل۔ جوہری تہہ جمع کرنے کے عمل میں، ہر رد عمل کی گیس کو ایک بار نبض اور صاف کرنے کا وقت ایک سائیکل کہلاتا ہے۔

اٹامک لیئر ایپیٹیکسی.جوہری تہہ جمع کرنے کے لیے ایک اور اصطلاح۔

Trimethylaluminum، مختصراً TMA، trimethylaluminum۔ جوہری تہہ جمع کرنے میں، TMA اکثر Al2O3 بنانے کے لیے پیشگی کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔ عام طور پر، TMA اور H2O Al2O3 بنتے ہیں۔ اس کے علاوہ TMA اور O3 Al2O3 بنتے ہیں۔ ذیل کی تصویر Al2O3 جوہری تہہ کے جمع ہونے کا ایک اسکیمیٹک خاکہ ہے، TMA اور H2O کو پیشگی کے طور پر استعمال کرتے ہوئے۔

3-Aminopropyltriethoxysilane، جسے APTES، 3-aminopropyltrimethoxysilane کہا جاتا ہے۔ میںجوہری تہہ جمع، APTES اکثر SiO2 بنانے کے لیے بطور پیش خیمہ استعمال ہوتا ہے۔ عام طور پر، APTES، O3 اور H2O SiO2 بناتے ہیں۔ نیچے دی گئی تصویر APTES کا اسکیمیٹک ڈایاگرام ہے۔