EPI وصول کنندہ

VeTek Semiconductor کا EPI susceptor مطالبہ کرنے والے epitaxial آلات کی ایپلی کیشنز کے لیے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ اس کا اعلیٰ طہارت سلکان کاربائیڈ (SiC) لیپت گریفائٹ ڈھانچہ بہترین گرمی مزاحمت، یکساں epitaxial تہہ کی موٹائی اور مزاحمت کے لیے یکساں تھرمل یکسانیت، اور دیرپا کیمیائی مزاحمت پیش کرتا ہے۔ ہم آپ کے ساتھ تعاون کرنے کے منتظر ہیں۔

انکوائری بھیجیں۔

مصنوعات کی وضاحت

VeTek سیمی کنڈکٹر ایک پیشہ ور رہنما چائنا EPI وصول کنندہ، ALD Planetary Receiver، TaC Coated Graphite Receiver بنانے والا ہے۔

VeTek Semiconductor's EPI susceptor سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں epitaxial ترقی کا ایک اہم جزو ہے۔ اس کا بنیادی کام ویفر کو سہارا دینا اور گرم کرنا ہے تاکہ ویفر کی سطح پر ایک اعلیٰ قسم کی ایپیٹیکسیل تہہ یکساں طور پر اگائی جاسکے۔

VeTek Semiconductors کے EPI susceptors عام طور پر اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ سے بنے ہوتے ہیں اور اسے سلکان کاربائیڈ (SiC) کی ایک تہہ کے ساتھ لیپت کیا جاتا ہے۔ اس ڈیزائن کے مندرجہ ذیل اہم فوائد ہیں:

اعلی درجہ حرارت استحکام: EPI susceptor اعلی درجہ حرارت والے ماحول میں مستحکم رہ سکتا ہے، جو epitaxial تہہ کی یکساں نشوونما کو یقینی بناتا ہے۔

سنکنرن مزاحمت: SiC کوٹنگ میں بہترین سنکنرن مزاحمت ہے اور یہ کیمیائی گیسوں کے کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کر سکتی ہے، ٹرے کی سروس لائف کو بڑھا سکتی ہے۔

تھرمل چالکتا: SiC مواد کی اعلی تھرمل چالکتا ہیٹنگ کے دوران ویفر کے یکساں درجہ حرارت کی تقسیم کو یقینی بناتی ہے، اس طرح ایپیٹیکسیل پرت کا معیار بہتر ہوتا ہے۔

تھرمل ایکسپینشن گتانک ملاپ: SiC کا تھرمل ایکسپینشن گتانک گریفائٹ سے ملتا جلتا ہے، تھرمل توسیع اور سکڑاؤ کی وجہ سے کوٹنگ شیڈنگ کے مسئلے سے بچتا ہے۔

کی بنیادی جسمانی خصوصیاتEPI وصول کنندہ: